Įpuslaidininkių pramonė, pasirinkimasdengimo technologijayra svarbus veiksnys, turintis įtakos produkto kokybei ir veikimui. Šiandien visus supažindinsime su FFE technologija.
FFE technologiją sukūrė JK GENCOA, kuri kaip branduolį naudoja savo viduje besisukantį magnetinį lauką, kad žymiai pagerintų žemą panaudojimo lygį ir prastą apskritų plokščių katodų taikinių vienodumą.
Pagrindiniai FFE technologijos pranašumai yra didelis vienodumas ir didelis tikslinių medžiagų panaudojimo lygis. Naudojant viduje sukamą magnetinį lauką, FFE technologija gali pasiekti vienodumo kontrolę dengimo proceso metu.
Jo vienodumas gali siekti geresnį nei ± 3%, o tikslinės medžiagos panaudojimo lygis taip pat viršija 40%.
Be pagrindinių privalumų, FFE technologija taip pat turi kelis vienodumo reguliavimo būdus.
Pavyzdžiui, pakeitus magneto matricos sukimosi greitį (50-120 aps./min.), galima reguliuoti vienodumą dengimo proceso metu.
Be to, magneto padėties reguliavimas sukimosi ašies atžvilgiu ir magnetinių plokštelių naudojimas magnetiniam laukui reguliuoti taip pat yra dažniausiai naudojami vienodumo reguliavimo metodai FFE technologijoje.
Šių reguliavimo metodų įvairovė leidžia FFE technologijai prisitaikyti prie skirtingų dangos reikalavimų, gerinant gaminio kokybę ir našumą.
FFE technologija taip pat labai tinka puslaidininkių plokštelių dengimui, nes yra labai tinkamas tarp vienodo ploto ir apskrito pagrindo, todėl dengimo procesas tampa tikslesnis ir efektyvesnis.
Be to, FFE technologijos katodo paskirties medžiagos dydis yra įvairus – galima rinktis iš 3-8 colių ir 10-17 colių, kurie gali atitikti skirtingų dydžių plokštelių dangos reikalavimus.
Be puslaidininkių pramonės, FFE technologija taip pat turi platų pritaikymo spektrą kitose srityse.
Pavyzdžiui, optikos, elektronikos, kosmoso ir tt srityse galima naudoti FFE technologiją gaminiams, kuriems keliami aukšti dangos kokybės ir vienodumo reikalavimai.
FFE technologija taip pat pasižymi ilgu magneto tarnavimo laiku, reguliuojamu sukimosi greičiu, dideliu galios pajėgumu ir tiesioginiu tikslinių medžiagų aušinimu.
Dėl šių savybių FFE technologija yra stabilesnė ir patikimesnė dengimo proceso metu. Tuo tarpu jo dujų slėgio valdymas ir vakuuminio vandens sandariklio konstrukcija taip pat užtikrina dengimo proceso tikslumą ir saugumą.
Toliau pateikiami vienodumo ir tikslinio panaudojimo matavimai per visą tikslinės medžiagos gyvavimo ciklą, veikiant skirtingais kW · h (tikslinė medžiaga Cu (C101), galia 5 kW DC, dujos Ar, slėgis 5,9 E{{ 4}} mbar)
